价格:￥0.00/台
品牌:YASKAWA
轴数:5
活动范围:1215mm
起订:1台
供应:99台
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简介

适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版，引领业界的高性能！供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

特点

大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率

高速搬运：300枚/小时

适用：300mm-450mm晶片搬运