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实现洁净室内多层第8代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运！

大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载：60KG
动态范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保工件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。